真空系統的簡(jiǎn)單介紹及部分名詞

真空系統其實(shí)就是真空機組的一個(gè)類(lèi)似的稱(chēng)呼，真空機組是由幾種真空泵組合而成的一套閉環(huán)真空設備，它不見(jiàn)得有一些諸如散熱器，冷凝器等等設備存在。而一般能稱(chēng)為真空系統的肯定是各種零部件齊全。真空應用設備種類(lèi)繁多，但無(wú)論何種真空應用設備都有一套排除被抽容器內氣體的抽氣系統，以便在真空容器內獲得所需要的真空條件。舉例來(lái)說(shuō)：一個(gè)真空處理用的容器，用管道和閥門(mén)將它與真空泵連接起來(lái)，當真空泵對容器進(jìn)行抽空時(shí)，容器上要有真空測量裝置，這就構成了一個(gè)簡(jiǎn)單的真空抽氣系統。那么真空系統相比較于機組來(lái)說(shuō)有多少泵組成呢？這個(gè)是不確定的，我們先來(lái)認識一下可能存在的泵的名詞解釋。

(1)主泵：在真空系統中，用于獲得所需要真空度來(lái)滿(mǎn)足特定工藝要求的真空泵，如真空鍍膜機中的油擴散泵就是主泵。

(2)前級泵：用于維持某一真空泵前級壓強低于其臨界前級壓強的真空泵。如羅茨泵前配置的旋片或滑閥泵就是前級泵。

(3)粗抽泵：從大氣壓下開(kāi)始抽氣，并將系統壓力抽到另一真空泵開(kāi)始工作的真空泵。如真空鍍膜機中的滑閥泵，就是粗油泵。

(4)維持泵：在真空系統中，氣量很小時(shí)，不能有效地利用前級泵。真空腔體及零組件為此配置一種容量較小的輔助泵來(lái)維持主泵工作，此泵叫維持泵。如擴散泵出口處配一臺小型旋片泵，就是維持泵。